该设备的阴极采用前置线圈与永磁叠加的双驱动技术,配合阳极层离子源刻蚀系统及三维多角度夹具,实现多工位同时工作;配备大直径阴极电弧,在大电流的使用条件下,其阴极电弧具有优异的冷却性,弧斑运动速度快,离化率高,沉积速率快,可高效沉积更加致密且光滑的涂层,其涂层的抗氧化及耐高温性能优势更显著。
设备可镀制AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN等耐高温超硬涂层,已广泛应用于微钻、铣刀、丝锥、杆状类刀具、汽车零部件、医疗器械等领域。
涂层性能举例:
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涂层
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膜厚(um)
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硬度(HV)
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最大工作温度(℃)
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颜色
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涂层应用
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Ta-C
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1-2.5
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4000-6000
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400
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黑色
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石墨、碳纤维、复合材料、铝及铝合金
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TiSiN
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1-3
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3500
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900
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古铜色
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55-60HRC不锈钢切削,精加工
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AlTiN-C
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1-3
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2800-3300
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1100
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蓝灰色
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低硬度不锈钢切割、成型模具、冲压模具
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CrAlN
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1-3
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3050
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1100
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灰色
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重切削、冲压模具
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CrAlSiN
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1-3
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3520
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1100
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灰色
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55-60HRC不锈钢切削,精加工,干切削
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